Японски учен реши дългогодишен проблем с EUV литографията

Учен от Института за наука и технологии в Окинава, Япония (OIST) предложи радикално опростяване на оптичната схема на EUV литографията – ключовата технология, с помощта на която днес се произвеждат най-модерните чипове. Професор Цумору Шинтаке е разработил вариант на EUV система с висока числова апертура (High-NA) и линейна геометрия, при която фотомаската, проекционната оптика и […]

Прочети цялата публикация