Китайски учени са създали усъвършенстван твърдотелен лазер за полупроводникова DUV литография

Китайски учени са създали компактна твърдотелна лазерна система, която генерира кохерентна светлина с дължина на вълната 193 nm. Това изобретение обещава пробив в полупроводниковата литография и други технологични области. Лазерите, работещи в дълбоката ултравиолетова област (DUV) с висока енергия на фотоните и къси дължини на вълните се използват в полупроводниковата литография, спектроскопията с висока разделителна […]

Прочети цялата публикация